这套系统比asl的euv机台大了足足三倍，这是由于采用了功率更高的紫外混合激光发生系统，更复杂的透镜系统，和更牢固的刻蚀引擎。

罗佳的演讲永远充满干货，节奏飞快，刚才他还在讲北美陶氏化学，断供oe，是指乙烯辛烯共聚物、乙烯丁烯共聚物，乙烯己烯共聚物等等。

它们都是聚烯烃类弹性体，用来做pa尼龙增韧剂，pp抗冲改性，eva挤出软管，pe膜之类的产品。

目前全世界仅有六家厂商生产，并且全都是外企，我国对poe年需求量在二十万吨，全部必须靠进口。

陶氏化学作为全球最大的poe供应商，突然断供，对我国影响巨大，所以星辰化学现在临危受命，准备搞技术攻关。

另外罗佳还说，从这件事上要学会居安思危，塞拉尼斯集团的醋酸纤维丝，超分子量聚乙烯，聚苯硫醚pps，英威达和奥盛德集团的pa66，伊斯曼集团的pctg和petg，这些化工产品也要尽快完成进口替代。

反正罗佳是从化学，直接就跳到了光刻机，把正聚精会神听讲的观众们吓了一大跳，以为罗佳还要再扯一会儿呢，竟然直接进入正题了。

“我知道，很多西方同行在怀疑，我们这套究竟是不是真正的第四代光刻系统。”罗佳大声宣布道：“现在，怀疑的人可以睁大眼睛看清楚了，这是如假包换的第四代，超级紫外混合激光刻蚀曝光系统！”

“如这张简要设计图所示，我们在这套系统中，创造出了波长为零点五纳米的超紫外混合激光，其精度，是目前全球最先进，asl集团euv机台的整整二十七倍！”

“而为了获得比极紫外更强的光源，星辰光学团队研发了cst全反射变焦镜头组件，变焦十六倍，数值孔径零点零三三，最大曝光范围七十六乘以九十三毫米！”

“这套透镜，是德国卡尔蔡司透镜性能的，整整三十倍！”

第378章 企业界在行动 国家队也有大动作

总的来说，第四代光刻机技术指标，是第三代euv的二十倍左右。

这就好比马车和火车的迭代，差距是全方位的，更短的波长只是一种表象，最惊人的创举在于，星辰科技突破了曝光功率的物理限制。

普通百姓们或许并不清楚，从第一代到第三代光刻机，其实都是大力出奇迹的结果。

就拿第三代euv来说，极紫外光是超大功率的电老虎

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